技術図鑑
CMP(表面を平らに磨く)
チップの表面は、なぜ磨く?
なぜ平らでないと困るか
チップは配線や膜の層を何十層も積んで作る。層を作ると表面に凸凹ができ、その上に次の層の細い線を光で写そうとすると、焦点が合わずにずれる。だから層を作るたびに、薬品と研磨剤で表面を平らに磨く。これがCMPで、化学と機械の両方で磨くという意味だ。
材料の会社の仕事
研磨剤(スラリー)の粒の大きさと薬品の配合が、平らさと削る速さを決める。層の材料ごとに違う研磨剤が要り、先端化で層が増えるほど使う量が増える。消耗品なので、工場の稼働に応じて売れる。
つながる図鑑
この頁から辿れる辺。問いの形で置いてある。
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- 技術図鑑チップは、どうやって作られている?半導体の作り方(露光・成膜・エッチング)
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ここへつながる図鑑
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出典:手作りの定番(一次資料に依らない一般的な仕組みの説明)
この頁はデータから作った。更新日 2026-10-27。編集方針
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