図解経済
技術図鑑CMP(表面を平らに磨く)
図解経済 › 技術図鑑 › CMP(表面を平らに磨く)

技術図鑑

CMP(表面を平らに磨く)

チップの表面は、なぜ磨く?

1枚カード(画像)を開く →X でポスト

なぜ平らでないと困るか

チップは配線や膜の層を何十層も積んで作る。層を作ると表面に凸凹ができ、その上に次の層の細い線を光で写そうとすると、焦点が合わずにずれる。だから層を作るたびに、薬品と研磨剤で表面を平らに磨く。これがCMPで、化学と機械の両方で磨くという意味だ。

CMP(表面を平らに磨く):なぜ平らでないと困るかしくみの図。① 層を作ると凸凹光の焦点が合わない② 薬品と研磨剤で磨く研磨パッド押しつけて回す研磨剤(スラリー)の粒が削る③ 平らになった次の層の細い線が正確に写る層を作るたびに磨く。層が増えるほど、研磨剤も増える
しくみの図。

材料の会社の仕事

研磨剤(スラリー)の粒の大きさと薬品の配合が、平らさと削る速さを決める。層の材料ごとに違う研磨剤が要り、先端化で層が増えるほど使う量が増える。消耗品なので、工場の稼働に応じて売れる。

CMP(表面を平らに磨く):材料の会社の仕事流れ。層を作る配線や膜で凸凹に→CMP薬品+研磨剤で平らに→次の層細い線が正確に写る研磨剤の粒の大きさと薬品の配合が、平らさと速さを決めるCMP(表面を平らに磨く):材料の会社の仕事流れ。層を作る配線や膜で凸凹に→CMP薬品+研磨剤で平らに→次の層細い線が正確に写る研磨剤の粒の大きさと薬品の配合が、平らさと速さを決める
流れ。

つながる図鑑

この頁から辿れる辺。問いの形で置いてある。

ここへつながる図鑑

出典と生成

出典:手作りの定番(一次資料に依らない一般的な仕組みの説明)

この頁はデータから作った。更新日 2026-10-27。編集方針

この図を使う

この頁の図と1枚カードは、出典として「図解経済」とこの頁へのリンクを示せば、記事・資料・SNS で自由に使える(CC BY 4.0・使い方の決まり)。

1枚カードを保存(PNG)