技術図鑑
EUV露光
EUV露光は、何が難しい？
なぜ短い光か
回路の線を細く写すには、写す光の波長を短くする必要がある。EUVは従来の露光の光より波長が十数分の一短く、数ナノメートルの線を写せる。この光は空気やレンズを通ると吸収されてしまうので、真空の中で鏡だけを使って反射させ、原版も反射型になる。
光源はスズの粒にレーザーを当てて作り、装置は世界で1社しか作れない。
日本の会社が担う所
原版の素材（マスクブランクス）、原版の欠陥を見つける検査装置、光に反応する感光剤（レジスト）で、日本の会社が高いシェアを持つ。光が弱く原版の傷がそのまま写るので、検査の役割が大きい。
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