EUV露光

なぜ短い光か

回路の線を細く写すには、写す光の波長を短くする必要がある。EUVは従来の露光の光より波長が十数分の一短く、数ナノメートルの線を写せる。この光は空気やレンズを通ると吸収されてしまうので、真空の中で鏡だけを使って反射させ、原版も反射型になる。

光源はスズの粒にレーザーを当てて作り、装置は世界で1社しか作れない。

• 技術図鑑露光は、チップ作りのどの工程？

日本の会社が担う所

原版の素材（マスクブランクス）、原版の欠陥を見つける検査装置、光に反応する感光剤（レジスト）で、日本の会社が高いシェアを持つ。光が弱く原版の傷がそのまま写るので、検査の役割が大きい。

• 会社図鑑レーザーテック（6920）
• 会社図鑑HOYA（7741）
• 会社図鑑東京応化工業（4186）