クリーンルーム

こして、流して、追い出す

ふつうの部屋の空気には、目に見えないほど小さなちりが大量に浮いている。クリーンルームは、天井に並べた目の細かいフィルタ（HEPAフィルタや、さらに細かいULPAフィルタ）で空気をこし、きれいな空気だけを部屋に吹き出す。

空気は上から下へ静かに流れ続け、床の穴から床下へ吸い込まれて、またフィルタへ戻る。人や機械から出たちりは、舞い上がる前にこの流れで床へ運ばれる。部屋の気圧は外より少し高くしておくので、ドアやすき間では空気が中から外へ流れ、外のちりが入り込まない。

どれだけきれいかは、決まった体積の空気の中に一定の大きさ以上のちりがいくつあるかで等級（クラス）を分ける。数字が小さいクラスほど、ちりが少ない。

何に使われ、どこが難しいか

半導体は、回路の線がちりよりずっと細いので、ちりが1つ載るだけで不良になる。そのため半導体や液晶パネルの工場は、建物の大部分がクリーンルームになる。薬や再生医療の細胞、食品を作る所では、ちりに加えて菌を持ち込まないために使う。病原体を扱う部屋は逆に気圧を外より低くして、中の空気が漏れないようにする。

いちばんのちりの元は人だ。皮膚のかけらや服の繊維が出るので、全身を覆う専用の服を着て、入口で空気を吹き付けてちりを落としてから入る。人の手を減らすため、中ではウエハを運ぶロボットや搬送装置が使われる。大量の空気を回し続け、温度と湿度も細かくそろえるので、電気を多く使う。半導体の工場では、ちりだけでなく空気中のわずかなガス成分も製品を傷めるため、それを吸着するケミカルフィルタも使う。

• 技術図鑑半導体は、どうやって作る？

日本の会社が担う所

高砂熱学工業やダイダンなどの設備工事の会社は、空調や気流を設計してクリーンルームを作る。ダイダンは施工の前にコンピュータで気流を計算して、設計どおりの条件になるかを確かめている。日本エアーテックはクリーンルーム向けの機器やロボット掃除機を作り、タクマは半導体工場のクリーンルーム向けのケミカルフィルタを開発している。

ダイフクやローツェは、クリーンルームの中でウエハなどを運ぶ搬送装置を作っている。

• 会社図鑑高砂熱学工業（1969）
• 会社図鑑日本エアーテック（6291）
• 会社図鑑ダイフク（6383）

有報に書いている会社

有価証券報告書の「研究開発活動」または「事業の内容」に、この技術を書いている上場会社の一部。会社名の下は有報の原文の一文。

• ダイキン工業（6367）「また、2025年10月に発売した『加湿ストリーマ空気清浄機(90タイプ)』は、クリーンルーム規格Class8レベルまで素早く空気清浄する「クリーンコース」を新搭載し、清浄スピードが進化しています。」研究開発活動
• セイコーエプソン（6724）「これらのニーズに対応するため、クリーンルーム対応・高精度制御・直感的な操作性を備えた人協働ロボットを通じて、製造業の多様なニーズに応えるだけでなく、ライフサイエンス分野などの需要にも対応し、より多くの業界における生産性向上と作業の自動化を支…」研究開発活動
• 岩谷産業（8088）「また、「再生医療・バイオ研究開発拠点」である中央研究所のバイオ研究専用クリーンルームを活用し、再生医療製品や細胞種ごとの最適な凍結方法の研究を行っています。」研究開発活動
• アズビル（6845）「…技術・商品への蓄積されているノウハウ・知見の活用・デバイス MEMS※1開発力を強化するために新たなクリーンルームを増強※2し、計測の高度化を実現する量の計測から質の計 測への転換※1 MEMS(Micro Electro Mechanic…」研究開発活動
• 大気社（1979）「今後は「AIREL(エアレル)」の換気性能に関する検証を継続するとともに、大空間用途に加え、半導体・電子部品向けクリーンルームや、二次電池工場向け低露点室等への適用拡大を進めてまいります。」研究開発活動
• ダイダン（1980）「当社は、データセンター、クリーンルームのような特殊生産設備、音楽ホールや劇場のような大空間などに対して、CFDによる気流シミュレーションを行い、設計要件を満たす設備条件を施工前にコンピュータ上で確認、その結果に基づいた着実な施工を行っていま…」研究開発活動
• タクマ（6013）「半導体工場のクリーンルーム向けのケミカルフィルタでは、高機能化、長寿命化を目指したフィルタの開発を実施しております。」研究開発活動
• ガリレイホールディングス（6420）「4 医療医薬向けクリーンルームパネル内装システム「PURE CIS」のモデルチェンジガリレイパネルクリエイトは、再生医療をはじめとする医療医薬向けパネル内装システム「PURE CIS ~ピュアシス~」のモデルチェンジを実施いたしました。」研究開発活動
• KHネオケム（4189）「2022年には、四日市工場に新たな品質管理棟を建設し、業界最高水準のクリーンルームを導入しました。」研究開発活動
• テクノ菱和（1965）「主な研究開発成果○ クリーン分野における差別化技術の開発開発したクリーンルーム清浄度自動測定ロボットシステムについて、実用化を目指してフィールドテストを行っております。」研究開発活動
• 日本エアーテック（6291）「…ーシャワー」「エコノミークリーンユニット」及び「パッケージ式クリーンユニット」等を上市するとともに、クリーンルーム清掃の効率化と省人化に寄与する「クリーンルーム対応ロボット掃除機(C30CR型)」を開発し、2025年11月に販売を開始しまし…」研究開発活動
• ウインテスト（6721）「今後、当社の優れたデジタル検査機能を生かした、先端ロジック検査装置分野、前工程検査装置分野へ参入を計画しており、大規模なクリーンルーム製造建屋の検討に着手しております。」研究開発活動
• ダイフク（6383）「Clean Factomation, Inc.(CFI)Clean Factomation, Inc.は、主に韓国の半導体メーカーへのクリーンルーム内搬送システムの製造販売及びアフターサービスを行っています。」事業の内容
• 山善（8051）「…、洗浄システム、切削洗浄液浄化装置、排水処理設備、焼却炉、ポンプ、送風機、空調システム、冷暖房機器、クリーンルーム関連、コンプレッサ―、塗装機器、小型建設機械、鉄骨加工機械、発電機、溶接機器等の販売を行っております。」事業の内容
• 高砂熱学工業（1969）「また、連結子会社であるインテグレーテッド・クリーンルーム・テクノロジーズPvt.Ltd.は、クリーンルーム向け関連機器・内装材の製造・販売・取付事業を行っております。」事業の内容
• 東プレ（5975）「(その他)・空調機器バブコン・クリーンルーム用機器・送風機及び住宅用換気システム............当社で製造・販売しております。」事業の内容
• ローツェ（6323）「半導体関連装置のうち、半導体製造工程のクリーンルーム内の大気中で使用されるウエハを処理装置に供給したり処理装置から受給する搬送装置を「大気用ウエハ搬送装置」といい、真空搬送チャンバやチャンバ内の真空環境での搬送作業を行うロボットで構成された…」事業の内容
• 三谷産業（8285）「…クアップサービス・クラウドコンピューティングサービス)空調設備工事関連事業空調設備・給排水衛生設備・クリーンルーム・消防設備の設計・施工、電気工事・内装工事の設計・施工、リニューアル物件の設計・施工(オフィスビル、マンション、ホテル、工場、…」事業の内容
• 藤井産業（9906）「…発電システムの設計・施工、保守並びに保安管理業務■設備プラント事業〈建設設備〉空調換気・給排水衛生・クリーンルーム・防災・消火・ガス設備工事、コンサルタント業務(ESCO)、クレーンの設計・製作・メンテナンス〈プラント設備〉上下水処理・電気…」事業の内容
• 明星工業（1976）「…人を含めた連結子会社で構成されており、国内外での材料等の製造及び施工において、熱絶縁工事、建材工事(クリーンルーム)、冷凍冷蔵低温設備工事等、幅広い需要先のニーズに対応しています。」事業の内容
• 前田工繊（7821）「主要な製品は、クリーンルーム内で使用されるフラットディスプレイパネル・精密機器用ワイピングクロスのほか、ネームリボン、各種工業繊維等の細巾織編物二次製品、衣料・各種産業資材用の丸編製品であります。」事業の内容
• ジャパンマテリアル（6055）「b トータルケミカルマネジメント 半導体及び液晶関連工場等において、各製造工程で使用される各種薬液の管理及び運搬(薬液貯蔵庫から顧客クリーンルーム内工程別薬液供給エリアまで)等の薬液供給管理業務を行っております。」事業の内容
• レント（372A）「(高度な衛生管理に資するクリーンルーム対応サービス)半導体、精密機器、食品、医薬品・医療器具工場等は、取り扱う製品の性質上、徹底した衛生管理や、空気中の微粒子濃度で測定される清浄度の管理がなされるクリーンルーム環境である場合が多く、それら…」事業の内容
• ユキグニファクトリー（1375）「(2) 植菌 クリーンルーム管理(無菌状態に管理)した植菌室で培地に種菌を接種いたします。」事業の内容
• 萬世電機（7565）「…ーター、エスカレーター、太陽光発電設備工事、電気工事、空調・給排水衛生設備工事、冷凍・冷蔵設備工事、クリーンルーム工事、冷暖房空調機器の保守・据付・修理、他太陽光発電電力 事業の系統図は、次のとおりであります。」事業の内容
• 星和電機（6748）「…使用される耐食形、防水形の器具とそれらの複合製品があり、また電子部品工場や化学薬品工場、バイオ産業のクリーンルーム用照明器具も製造しております。」事業の内容
• 日創グループ（3440）「主に、建築基準法上の準耐火建築物、耐火建築物の防火区画において、大型商業施設や物流倉庫、クリーンルーム等の内壁材、間仕切り材として使用されており、日創プロニティ株式会社の製品であります。」事業の内容
• ヤマシンフィルタ（6240）「半導体工場、病院にあるクリーンルームや空気清浄機などに使用されております。」事業の内容
• フジプレアム（4237）「タッチパネルセンサー基板についても、クリーンルーム内において、精密貼合、官能検査等を行っております。」事業の内容
• アゼアス（3161）「<クリーンルーム内作業向けの用途>製薬会社や再生医療分野では、研究室内をクリーンな環境に保つための特殊な設備を備えたクリーンルームが使用されています。」事業の内容

• 仕組み図鑑工場を建てる時、どの会社にお金が落ちる？