MEMS

削って動く部品を作る

MEMSは、半導体のチップと同じく、シリコンの円盤に膜を作り、光で形を写し、削る、という方法で作る。違うのは、下の層を溶かして部品を浮かせ、動けるようにすることだ。髪の毛の太さより小さいおもり、ばね、薄い膜、鏡ができる。

加速度センサーでは、ばねで吊ったおもりが揺れで動くと、向かい合う櫛の歯の形の電極のすき間が変わり、ためられる電気の量が変わる。これを回路で読んで、傾きや揺れの大きさにする。

• 技術図鑑センサーは、何を電気に変えている？
• 技術図鑑チップは、どうやって作られている？

センサーから、ノズルや鏡まで

薄い膜のたわみを読めば圧力センサーやマイクになり、膜を電気で押せばインクを飛ばすプリンターのノズルになる。小さな鏡を電気で振れば、光を走らせるスキャナになる。シリコンの小さな板を揺らして一定のリズムを作る振動子は、時計の役目をする。

動く部品を持つので、ほこりや湿気から守るふたが要り、衝撃で部品がくっついたり、繰り返し動いて疲れたりしないようにする設計がむずかしい。

日本の会社が担う所

TDKはMEMSセンサを作り、リコーはMEMS技術を使った印刷用のヘッドを出している。京セラはシリコンMEMSの振動子・発振器を開発し、北陸電気工業は半導体の圧力センサを応用した水位センサを製品にした。

• 会社図鑑TDK（6762）
• 会社図鑑リコー（7752）
• 会社図鑑京セラ（6971）

有報に書いている会社

有価証券報告書の「研究開発活動」または「事業の内容」に、この技術を書いている上場会社の一部。会社名の下は有報の原文の一文。

• 三菱電機（6503）「本成果は、ファンデルワールス積層材料*20を用いたMEMS*21の長寿命化を可能とし、MEMSを搭載する各種機器の信頼性向上と高付加価値化に貢献します。」研究開発活動
• リコー（7752）「また、MEMS技術を活用した小型・高精細印刷に対応するTHシリーズヘッドも新規で採用いただけるお客様が増えております。」研究開発活動
• 京セラ（6971）「…の信頼性を高めた小型高容量のセラミックコンデンサやSAWデバイス、小型高周波特性の水晶部品やシリコンMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動子・発振器、高速通信用のコネクタ等の製品開発を進めています。」研究開発活動
• ミネベアミツミ（6479）「さらに、MEMS(微小電気機械システム)技術とアナログ半導体、センサー技術を組み合わせたデバイスの開発にも取り組んでおります。」研究開発活動
• セイコーエプソン（6724）「三つの開発センター(材料・加工プロセス開発センター、MEMS・デバイス開発センター、AI開発・分析技術センター)を中核に、技術の出口にあたる事業責任者が各センターの責任者を兼任することで、事業戦略と開発の方向性を一致させ、技術の強みの最大化…」研究開発活動
• スタンレー電気（6923）「…高出力深紫外LED ・面発光レーザーダイオード(2) ディスプレイ分野 ・超高コントラストLCD ・MEMSスキャナ ・ディスプレイ駆動回路 (3) 光源・照明分野 ・自動車用照明機器 ・LED道路照明・屋内照明機器 ・点灯駆動回路・電源(…」研究開発活動
• シチズン時計（7762）「さらに、これまで培ったセラミックス・水晶製品の技術ノウハウにMEMS技術を融合して、新たな高付加価値製品の創出に取り組んでいます。」研究開発活動
• アズビル（6845）「…エータ 全事業で用いられるアクチュエータ技術・商品への蓄積されているノウハウ・知見の活用・デバイス MEMS※1開発力を強化するために新たなクリーンルームを増強※2し、計測の高度化を実現する量の計測から質の計 測への転換※1 MEMS(Mi…」研究開発活動
• フェローテック（6890）「バイポーラIC用・ディスクリート用・MEMS用・CIS用などの量産品に向けた供給体制を築くための技術開発に取り組んで貢献してまいります。」研究開発活動
• アルバック（6728）「電子部品製造装置においては、パワーデバイス、通信デバイス、オプトデバイス、電子部品(MEMS等)及びパッケージングの製造に適した装置及びプロセス開発を行っております。」研究開発活動
• 日本化薬（4272）「…パワー半導体向けの高耐熱性素材、さらに高耐熱性を維持した新規液状素材、イメージセンサー向けの高性能なMEMS用ドライフィルム、高画質かつ高速印刷を実現するための各種メディア用の産業用インクジェットインク、染料合成技術を活かした新規機能性色素…」研究開発活動
• 日本航空電子工業（6807）「老朽化インフラ診断市場への参入を目的として、当社独自開発のMEMS加速度計を用いた高精度センサシステムによる橋梁劣化診断の研究を継続しております。」研究開発活動
• 飛島ホールディングス（256A）「「NAMISIIL」は、小型PC及び低ノイズのMEMS加速度センサーを用い、地震動の計測、記録、制御及び分析の機能を一体化した小型地震計測システムである。」研究開発活動
• 太陽ホールディングス（4626）「<用途展開の推進(新規市場×既存技術)> センサやMEMS用材料、高周波対応部材などの電子部品や、半導体プロセス材料への用途展開を進めています。」研究開発活動
• ヨコオ（6800）「…術、半導体応用技術、マイクロウェーブ(高周波)技術、表面改質材料技術、微細精密加工技術、フォトリソ(MEMS)技術を核に、研究開発部門、事業部技術部門及び現地開発拠点が一丸となって、技術集積度がより高く付加価値の高い製品への展開に重点をおき…」研究開発活動
• 日本電波工業（6779）「また、長年培ってきた波動要素技術を基にSi-MEMS(共振子、発振器)の研究開発および半導体装置向け製品開発も進めております。」研究開発活動
• イノテック（9880）「プローブカード事業では、先端プロセスに対応するMEMS型プローブカードや化合物パワー半導体向けの高耐圧プローブカードの開発を行いました。」研究開発活動
• 北陸電気工業（6989）「MEMS製品では、従来からの主力製品である半導体圧力センサの応用展開として、給湯器や白物家電向けの省エネ対応機器用に水位センサを製品化しております。」研究開発活動
• 新日本科学（2395）「MPSとは,MEMS(micro electro mechanical systems)技術を用いて作製された微小な空間に,生体(in vivo)に近い培養環境を再構築したin vitro培養系のことです。」研究開発活動
• 日本電子材料（6855）「その活動の主な内容は、半導体回路の微細化や高速化に向けた、MEMS技術を用いたプローブの性能向上や基板の開発、プローブカードの組立技術や加工技術の開発、次世代半導体向けプローブカードの開発推進や既存製品の性能向上等であり、今後も市場の拡販や…」研究開発活動
• 日本フイルコン（5942）「(2) 電子部材・フォトマスク事業フォトマスク事業分野では、半導体・MEMS他向けフォトマスクの高精細化を目的とした製造プロセス開発・販売を継続しております。」研究開発活動
• 大研医器（7775）「当社は、研究開発型の医療機器メーカーとして、血液凝固技術、メカトロニクス技術、エンジニアリングプラスチックによる接着、溶着等の接合技術、MEMS(※)開発に必要な精密加工技術等のコア技術を蓄積し、新たな技術開発の基盤としております。」研究開発活動
• ジオマテック（6907）「…形成材料の量産技術開発2金属抵抗式薄膜ひずみゲージ形成技術の開発3弾性波デバイス用音響多層膜の開発4MEMSデバイス用圧電薄膜の開発5パワーデバイス用GaNテンプレートウエハーの開発6貫通ビアへの成膜技術の開発(その他)7g.moth®など…」研究開発活動
• ジェイテックコーポレーション（3446）「今後は本システムをパワーデバイスやMEMSに用いられるSOIウェハ向け等に用途拡大を進めてまいります。」研究開発活動
• TDK（6762）「…その他58社(国内1社、海外57社)(会社数 計63社)センサ応用製品温度・圧力センサ、磁気センサ、MEMSセンサ当社InvenSense, Inc.TDK-Micronas GmbHその他13社(国内2社、海外11社)(会社数 計16社)…」事業の内容
• サムコ（6387）「主にMEMS(Micro Electro Mechanical Systems=微小電気機械システム)、コンデンサ、インダクタ、各種センサー、高周波フィルターが含まれます。」事業の内容
• ジーダット（3841）「…Panel Display, フラットパネルディスプレイ)をはじめとした電子デバイス及び磁気ヘッドやMEMS(Micro Electro Mechanical Systems,マイクロマシン) 等の微細加工部品を設計するための電子系CAD(…」事業の内容
• QDレーザ（6613）「具体的には、半導体レーザとMEMSを組み合わせた光学ユニットや、光の3原色(赤、青、緑)をはじめとする各種波長のレーザを組込んだ多波長モジュールを提供しており、標準製品の提案だけでなく、顧客の要望に応じたカスタム品にも対応しております。」事業の内容